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关键词:化学气相沉积炉CVD气相沉积炉化学气相沉积设备CVD系统
立式化学气相沉积炉(沉积炭)
立式化学气相沉积炉(沉积炭)
产品描述:
立式化学气相沉积炉(沉积炭)用于以碳氢气体(如C3H8、CH4等)为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理
应用范围:
炭/炭刹车盘、晶体炉坩埚、热压模具、高温发热体/紧固件、热场材料等

立式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征

电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;

采用智能压力调控,压力波动小;

全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,环境友好,易清理;

可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高;

可用于高温热解炭沉积,最高温度可达2200℃;

适用于工艺气氛:真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。

立式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格

参数\型号VCVD-0305-CVCVD-0608-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1520-CVCVD-2632-CVCVD-3038-C
工作区尺寸D×H(mm) Φ300×500Φ600×800Φ800×1200Φ1100×2000Φ1500×2000Φ2600×3200Φ3000×3800
最高温度(℃) 1500 1500 1500 15001500 15001500
温度均匀性(℃) ±5/±10 ±7.5/±10 ±7.5/±15±10/±15±10/±15 ±10±10
极限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-1001-100 1-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.670.67 0.670.67
加热方式电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻/感应电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

立式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗:石墨/CFC/金属

热电偶:K/N/C/S分度号

电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)

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